UV光固化工藝

現(xiàn)代半導體材料的發(fā)展方向為大規(guī)格、高精度、高效率和低成本等,這就對傳統(tǒng)半導體硬脆材料加工工具提出了新的挑戰(zhàn)。本文在UV光固化磨具研究基礎上,以UV光固化樹脂作為金剛石線鋸結(jié)合劑為技術實現(xiàn)目標,在材料性能、結(jié)合強度、涂覆固化工藝及加工性能等方面,對紫外光固化金剛石線鋸制造技術進行了研究。
　　研究了UV光固化線鋸樹脂結(jié)合劑的機械物理性能。根據(jù)線鋸加工工況對結(jié)合劑性能的技術要求,提出了光固化線鋸樹脂結(jié)合劑材料性能的選擇原則。據(jù)此原則,通過對光固化樹脂進行機械物理性能測試實驗及綜合評價,確定了符合光固化線鋸制造技術要求的光固化樹脂品種類型。
　　研究了芯線材料及其界面結(jié)合性能。分析了線鋸實際工作對材料強度性能的技術要求,確定了光固化線鋸芯線的材料及種類。根據(jù)金屬芯線與非金屬芯線不同材料特性,分別實驗研究了提高UV光固化樹脂與芯線界面結(jié)合強度的表面處理措施及工藝條件。
　　研究了金剛石在結(jié)合劑中的固位機理。建立了UV光固化樹脂對金剛石機械包鑲的力學模型及表征樹脂包鑲金剛石能力的拉伸法實驗評價模型。依據(jù)粘接理論,實驗研究了提高光固化線鋸金剛石包鑲固位能力的措施。
　　研究了線鋸涂覆與UV光固化工藝。根據(jù)UV光固化線鋸的制造工藝特點,制訂了UV光固化線鋸的制造工藝流程,研制了線鋸涂覆固化機,并對光固化線鋸涂覆與固化工藝的質(zhì)量控制進行了研究。
　　研究了UV光固化線鋸磨損失效機理及加工性能。在分析UV光固化線鋸磨損與失效形式的基礎上,研究了影響其磨損失效的因素及機理,并確立了UV光固化線鋸加工性能的評價方法。對光固化樹脂單體改性及非金屬芯線預張拉技術改善線鋸性能的工藝進行了實驗研究,并對UV光固化線鋸與商品化的電鍍線鋸進行了加工性能的對比與評價。

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